高低溫真空探針臺(tái)系統(tǒng)主要用于為被測(cè)芯片提供一個(gè)低溫或者高溫的變溫測(cè)量環(huán)境，以便測(cè)量分析溫度變化時(shí)芯片性能參數(shù)的變化。腔體內(nèi)被測(cè)芯片在真空環(huán)境中有效避免易受氧化半導(dǎo)體器件因接觸空氣所帶來(lái)的測(cè)試結(jié)果誤差，是材料學(xué)、芯片、半導(dǎo)體器件等方向?qū)嶒?yàn)分析的理想選擇。
應(yīng)用領(lǐng)域：
半導(dǎo)體材料光電檢測(cè)，功率器件測(cè)試，MEMS測(cè)試，PCB測(cè)試，液晶面板測(cè)試，測(cè)量表面電阻率測(cè)試，精密儀器生產(chǎn)檢測(cè)，航空航天實(shí)驗(yàn)室。譜量光電可以根據(jù)客戶實(shí)際應(yīng)用需求，定制配套探針臺(tái)系統(tǒng)，以達(dá)到更好的測(cè)試效果及更高的性價(jià)比。
光學(xué)隔振平臺(tái)專門設(shè)計(jì)的水平減震機(jī)構(gòu)，隔振基礎(chǔ)采用二層氣囊隔離，空氣隔離器利用空氣阻尼技術(shù)在各個(gè)方向上都提供了優(yōu)異的減振性能，減振器自身的自然振動(dòng)頻率非常低，防止由瞬變干擾產(chǎn)生的搖擺。
技術(shù)優(yōu)勢(shì)：
控溫范圍可達(dá)-142℃-600℃（如300℃以上需另配水冷系統(tǒng)）；
控溫精度可達(dá)±1℃，顯示精度1℃，溫度均勻性±3℃；
極限真空度優(yōu)于2Pa@機(jī)械泵，極限真空度優(yōu)于3*10^(-3)Pa@分子泵組；
探針位移重復(fù)定位精度2μm，分辨率3μm，單軸直線度±2μm；
三同軸探針夾具，漏電精度100fA，陶瓷結(jié)構(gòu)；
樣品臺(tái)多個(gè)尺寸可選，常規(guī)有4/6/8/12英寸。
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